2.2. 市场规模：全球可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元 ...... 15
2.5. 专用零部件：CMP 设备机械加工件基本为专项专用 ...... 17
3.4. 厂商间有不同产品布局战略，“纵向”与“横向”战略并存 ..... 20
4.2. VAT：真空阀全球领导者，下游客户遍及各类高端制造业 ....... 22
4.4. Ferrotec：以磁流体技术为基石，围绕半导体拓展业务板块 .... 26
4.6. 半导体产能向国内转移，“横向”拓展业务品类系机会所在 ..... 30
5.1. 正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力 ..... 31
5.2. 江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破 ...... 33
5.3. 北方华创： 业绩持续高增长，设备品类加速扩张 ..... 35
5.4. 新莱应材：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔 ..... 37
5.5. 华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长 ..... 38
5.6. 神工股份： 轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速 ....... 40
5.8. 富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势 ..... 43
图25：全球半导体设备零部件市场规模及预期（单位：亿美元）.... 15
图26：中国大陆半导体设备零部件市场规模及预期（单位：亿美元） ...... 15
图28：全球光刻机零部件市场规模及预期（单位：亿美元） ..... 16
图29：全球CMP 专用零部件市场规模及预期（单位：亿美元） ...... 17
图30：2021 年全球半导体设备子系统前十大供应商 ...... 18
图66：国内重点半导体设备零部件公司估值信息（Wind 一致预期，截至2022.8.12） .. 31
表8：2021 年各样本公司毛利率及直接材料费用占营业成本比例 .... 14
表13：2020 年半导体设备零部件头部厂商相关营收 ...... 19
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