1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司在上交所科创板上市，股票简称“恒运昌”，股票代码“688785”。招股书显示，公司本次拟公开发行人民币普通股1693.0559万股，发行价格为92.18元/股，扣除发行费用后募资净额为14.14亿元。
成立12年来，恒运昌专注等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研产销及技术服务，已成为国内领先的半导体设备核心零部件供应商。
本次上市，公司募资加码产品研发、营销和技术支持，致力打造核心零部件平台，服务半导体设备等高端装备制造业，以技术及产品创新引领行业发展。
等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。
从创立之初，恒运昌就聚焦等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7—14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补了国内空白。目前，公司正研制面向更先进制程的第四代等离子体射频电源系统和匹配器，持续推进技术迭代升级。
凭借先进技术，恒运昌已成为半导体“卡脖子”解决方案的领军企业。据介绍，截至2025年6月30日，公司拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项，拥有国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”等资质。
近年来，恒运昌持续加大研发投入。2022年至2024年，公司研发费用分别为2154.21万元、3696.37万元、5528.00万元；2025年上半年，公司研发费用达4330.84万元，占营业收入的比例为14.24%。
本次上市，恒运昌拟募资加码沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目，并补充流动资金。
据介绍，本次募投项目聚焦国家和战略需求，围绕公司主营业务进行，对现有产品进行提升和拓展。新建全新智能产线及购置新设备，扩大公司产能；通过研发中心项目建设进一步提高产品科技含量，提升公司核心竞争力；建设营销及技术支持中心，加强技术服务能力，提升公司客户服务响应速度，增强客户的依赖性和品牌黏性。
通过建设募投项目，公司有望进一步降低成本，强化技术研发投入，加强市场开拓能力，将有利于公司进一步扩大在半导体产业的竞争优势，持续扩大经营规模和提升技术水平，巩固公司在半导体级等离子体射频电源系统的领先地位。
公司相关负责人表示，放眼未来，公司将致力打造核心零部件平台，服务半导体设备等高端装备制造业，建设成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为半导体设备国产化贡献中国“芯”力量。