1月28日，国投创业投资企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”，688785.SH）成功在上海证券交易所科创板挂牌上市，成为2026年第一家科创板IPO上市企业。
恒运昌是国投创业在半导体装备领域重点投资布局的创新企业。2021年，国投创业投资恒运昌，并成为公司第一大机构股东，合力助推半导体设备核心零部件国产化。
恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统，被誉为控制等离子体的“纳米手术刀”，直接决定芯片刻蚀与薄膜沉积工艺的精度与良率，是半导体设备中最核心、技术壁垒最高的零部件j6国际官网之一。长期以来，这一领域被美国MKS与AE两大巨头垄断，2024年国产化率不足12%。
面对这一技术关卡，恒运昌坚持自主创新，历经十余年持续投入，成功构建了涵盖信号采样与处理、相位锁定、同步控制等在内的三大基石技术体系，并衍生出八大产品化支撑技术，形成完全自主可控的核心技术链。公司先后推出CSL、Besj6国际官网tda、Aspen三代产品系列，其中第二代Bestda系列已支持28纳米制程，第三代Aspen系列更可覆盖7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。截至2025年6月30日，公司累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，另有133项发明专利处于申请阶段，同时承担工信部、科技部三项国家级重大科研课题。
凭借技术突破与产品迭代，恒运昌迅速赢得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计，2024年恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额高居第一，成为国产替代的核心力量。公司已与拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商建立深度战略合作关系，产品广泛应用于刻蚀、PECVD、ALD等关键制程，并最终进入中芯国际等晶圆厂产线。
恒运昌是国投创业在半导体设备核心零部件领域重点布局的创新企业。自2021年投资后，国投创业帮助恒运昌持续规范管理，并依托专业投资管理能力和半导体全产业链布局的资源优势，推动产业上下游合作，支持恒运昌成长为半导体设备电源行业的领军企业。
本次成功在科创板上市，标志着恒运昌夯实产能、研发与服务三大支柱，迈入全面发展的新起点。募集资金将全面用于提升公司在半导体核心零部件领域的综合竞争力，系统性强化产能保障、技术领先与客户服务能力，不断巩固公司在半导体设备核心零部件领域的行业领先地位，为半导体装备国产化贡献力量。
国投创业成立于 2016 年，是国家开发投资集团有限公司为落实国家创新驱动发展战略，深化与科技部全面战略合作，加快推动国家科技成果转移转化，按照市场化方式专门设立的创业投资基金管理公司。国投创业通过国家科技重大专项成果转化基金、国投京津冀科技成果转化基金、国投高新（深圳）创投基金、国投（宁波）科技成果转化基金、国投（广东）科技成果转化基金等平台，始终围绕科技成果转化投资目标，聚焦先进制造、电子信息、生物医药、材料能源等关键领域，着眼京津冀、长三角、粤港澳大湾区等国家区域发展战略布局，持续推动关键核心技术自主创新不断实现突破，构建良好的科技成果转化投资生态体系。