传送模块 EFEM
j6股份有限公司的EFEM（Equipment Front End Module）集成晶圆传输机械手、负压环境控制系统、自动识别定位装置，传输速度3秒/片，定位
j6股份有限公司的EFEM（Equipment Front End Module）集成晶圆传输机械手、负压环境控制系统、自动识别定位装置，传输速度≤3秒/片，定位精度±0.05mm，机电一体类产品占比18%，满足300mm晶圆产线自动化需求。
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