边缘环 Edge Ring-j6股份有限公司

边缘环 Edge Ring

j6国际生产的硅基或碳化硅边缘环，采用等静压成型与精密研磨工艺，平面度10μm，表面粗糙度Ra0.4μm，有效保护晶圆边缘，延长设备使用寿命，机械加工类产品占比

j6国际生产的硅基或碳化硅边缘环，采用等静压成型与精密研磨工艺，平面度≤10μm，表面粗糙度Ra≤0.4μm，有效保护晶圆边缘，延长设备使用寿命，机械加工类产品占比27%，为公司主营产品线。

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