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　　半导体设备零部件种类繁多，工艺难度差别较大。半导体零部件细分种类众多，按结构组成可分为机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器仪表类、光学类等，应用设备有所差异。按标准化程度可分为精密机加件和通用外购件，精密机加件为定制化产品，由设备厂商自行设计后委外加工，如腔体、机械手等，难度相对较低；通用外购件是经过长时间验证、得到广泛认可的通用标准品，如阀门、密封圈（O-Ring）、规（Gauge）、泵、喷淋头等，由于需要得到设备厂商与制造j6股份有限公司产线认证，技术壁垒较高。

　　半导体设备零部件行业深度研究报告：半导体设备之磐基国产替代正当时-250107（40页）.pdf

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　　图表542019-2023年中国主要半导体设备厂商前五大供应商采购金额占比