核心零部件作为半导体设备乃至半导体产业链的基石,尽管其市场规模估计200-300亿美元,但市场集中度高,且主要被美国、日本、欧洲等国际品牌垄断,从上市公司公告信息看,本土的半导体零部件供应商也发展迅速,有望借半导体全产业高景气之势,加快成长步伐。支撑评级的要点半导体零部件包括设备核心部件和厂务辅助设备。半导体设备关键子系统主要分为8大类:气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系