1 半导体设备零部件行业全梳理 1.半导体零部件、模组的分类？每个分类国产化的情况？难度的排序？ 零部件分类： l 模组件：分为 EFEM（传送模块）、传送腔体、反应腔体，还有部署设备（气柜、电柜）、清洗组件、冷却组件（CM）。 l 零部件： 1）金属件：一般包括铝锭（纯铝，用作腔体）、不锈钢（用作骨架）、铝合金为原料制作的产品，目前国产化率最高。 2）非金属件：陶瓷件、石英件、石墨。 3）气柜：主要用世伟洛克的产品；其中的气体管路等配件主要用的 SMC、VAT 的产品。气柜产品有的是厂家自己制作的，有的是委托下游厂商制作的，例如富士金、VAT、UCT。 4）仪表类：主要是流量计，目前主要用 SMC 和日本津...
1 半导体设备零部件行业全梳理 1.半导体零部件、模组的分类？每个分类国产化的情况？难度的排序？ 零部件分类： l 模组件：分为 EFEM（传送模块）、传送腔体、反应腔体，还有部署设备（气柜、电柜）、清洗组件、冷却组件（CM）。 l 零部件： 1）金属件：一般包括铝锭（纯铝，用作腔体）、不锈钢（用作骨架）、铝合金为原料j6国际制作的产品，目前国产化率最高。 2）非金属件：陶瓷件、石英件、石墨。 3）气柜：主要用世伟洛克的产品；其中的气体管路等配件主要用的 SMC、VAT 的产品。气柜产品有的是厂家自己制作的，有的是委托下游厂商制作的，例如富士金、VAT、UCT。 4）仪表类：主要是流量计，目前主要用 SMC 和日本津市的多一些。 5）射频电源：主要用的 MKS 产品。 6）阀门：主要用的 VAT 和 SMC，VAT 的产品是用的最多的，国内也是用这两家多一些。但是应材的产品是自己定制的，不采用现有的模块。 7）泵：常用的就是德国普旭和爱德华，爱德华用的是最
七年级数学上册第二章整式的加减2.2整式的加减第2课时去括号复习练习新版新人教版
七年级数学上册第三章一元一次方程3.2解一元一次方程一_合并同类项与移项第2课时利用移项解一元一次方程复习练习新版新人教版
湖南省长沙市高中历史第五单元从科学社会主义理论到社会主义制度的建立第19课俄国十月革命的胜利练习新人教版必修1
江苏省盐城市大丰区第二共同体八年级物理上册1.4人耳听不到的声音教案新版苏科版
江苏省盐城市大丰区八年级物理下册6.5物质的物理属性导学案无答案新版苏科版