
国家知识产权局信息显示,宁波芯丰精密科技有限公司取得一项名为“一种挡水结构及晶圆清洗装置”的专利,授权公告号CN223832958U,申请日j6国际期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型属于半导体设备技术领域,公开一种挡水结构及晶圆清洗装置。晶圆清洗装置包括主壳体和第一门体,主壳体内设置有安装腔室。主壳体的侧壁设置有与安装腔室连通的取出口,第一门体可升j6国际降地设置于安装腔室内。挡水结构包括第一挡水槽和第二挡水槽,第一挡水槽设置于主壳体的内壁且开口朝上设置,第二挡水槽设置于主壳体的内壁且开口朝上设置。第二挡水槽低于第一挡水槽,且第二挡水槽相对第一挡水槽靠近安装腔室的中心设置。第一挡水槽和第二挡水槽用于收集主壳体内壁附着的清洗液。该晶圆清洗装置能够充分清洗晶圆,且通过设置挡水结构可以有效防止残留的清洗液滴落于晶圆的表面,避免晶圆污染,减少清洗次数,提高工作效率。
天眼查资料显示,宁波芯丰精密科技有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5324.6745万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波芯丰精密科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线条。
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