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　　半导体设备零部件行业研究 半导体设备零部件行业研究 1.半导体设备零部件简介及分类 1.1.半导体设备的核心部分, 下游厂商营业成本的主要来源 半导体设备由大量零部件组成, 零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性, 因此半导体设备零部件需要在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到半导体设备及技术要求。半导体零部件是半导体行业的基石。常见的半导体零部件有密封圈（O-Ring）、传送模块（EFEM）、射频电源（RFGenerator）、静电吸盘（ESC）、硅环等结构件（Si）、真空泵（Pump）、气体流量计（MFC）、喷淋头（ShowerHead）等。 半导体...

　　半导体设备零部件行业研究 半导体设备零部件行业研究 1.半导体设备零部件简介及分类 1.1.半导体设备的核心部分, 下游厂商营业成本的主要来源 半导体设备由大量零部件组成, 零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性, 因此半导体设备零部件需要在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到半导体设备及技术要求。半导体零部件是半导体行业的基石。常见的半导体零部件有密封圈（O-Ring）、传送模块（EFEM）、射频电源（RFGenerator）、静电吸盘（ESC）、硅环等结构件（Si）、真空泵（Pump）、气体流量计（MFC）、喷淋头（ShowerHead）等。 半导体零部件产业通常具有高技术密集、学科交叉融合, 同时在价值链上举足轻重等特点。半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源, 在半导体设备厂商营业成本中占90%左右, 经我们测算得出其占半导体设备总价值量的 50%左右。