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HSC-I2402应用于4/6/8英寸化合物半导体材料的过程清洗。该装备基于华海清科自主知识产权的创新技术,配备性能优越的单片清洗机模块和双面刷洗模块,集成多种化学药液,并搭载先进的物理清洗方法,展现出更卓越的清洁效果。该装备满足多种化合物半导体材料的需求,已在化合物半导体领域批量应用。
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途。