1. 半导体设备零部件细分种类多,在半导体设备中价值占比高1)从产业链上来看,半导体设备零部件处于偏上游的位置。 按照各类零部件在设备上的不同功能,可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。2)半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源, 在半导体设备厂商营业成本中占 90%左右,我们测算占半导体设备总价值量 50%左右。2.