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　　近日，上海张江高新区企业盛美半导体设备（上海）有限公司自主研发的１２英寸４５纳米单片清洗设备冲出国门，销往韩国知名存储器厂商，成功敲开了国际市场的大门，这也是我国首台具有自主知识产权的“零损伤”兆声波半导体清洗设备，填补了国内技术的空白。

　　盛美半导体创始人、首席执行官王晖表示，盛美的技术是国内首创、全球独有，因此才赢得韩国企业的j6股份有限公司亲睐。据悉，韩国厂商利用该项技术后，可以在生产过程中通过降低产品不良率提高产出率，一年可节省上千万美元的生产费用。据悉，今年全球半导体晶圆清洗设备的市场规模预计将达２０亿美元，单片、批式两种清洗设备分别占１０亿美元，盛美半导体研制的最新清洗设备将抢占更多的市场份额。