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　　零部件为半导体产业链上游“卡脖子”环节，决定了半导体设备的可靠性和稳定性。半导体设备零部件对精密性、洁净度、耐腐蚀和耐击穿电压等特性要求极高，生产涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺等多种工艺和多j6国际官网门学科，技术门槛极高。可以说零部件的性能决定设备的性能，设备升级依赖于零部件技术突破，零部件是半导体产业链“卡脖子”环节。

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