
国家知识产权局信息显示,滨州新大新机电科技有限公司;滨州职业学院申请一项名为“一种半导体元件的自动j6国际化加工设备”的专利,公开号CN121712283A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体制造装备技术领域,公开了一种半导体元件的自动化加工设备,用于加工半导体元件,包括轨道系统,所述轨道系统被设计为具有受控真空环境的密封通道,其包括环形主干道,所述环形主干道四周设置有多个工艺模块,多个所述工艺模块呈放射状围绕环形主干道,从环形主干道分流出多个与工艺模块一一对应的支路,每个支路与其对应的j6国际工艺模块相连接,所述轨道系统上承载有多个悬浮托盘,两者之间设置有驱动系统,所述驱动系统用于驱动悬浮托盘沿轨道系统进行非接触式移动。通过磁悬浮单元与线性电机组成的驱动系统,从根本上移除了系统内最大的机械摩擦与磨损源,避免了多关节机械臂在长期运行中不可避免产生的颗粒污染。
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