江苏翼泷芯科技申请一种半导体生产设备及半导体工艺方法专利减少了机械刷洗阶段颗粒与表面的摩擦风险
栏目:行业资讯 发布时间:2026-03-25
   国家知识产权局信息显示,江苏翼泷芯科技有限公司申请一项名为“一种半导体生产设备及半导体工艺方法”的专利,公开号CN121693030A,申请日期为202

  

江苏翼泷芯科技申请一种半导体生产设备及半导体工艺方法专利减少了机械刷洗阶段颗粒与表面的摩擦风险(图1)

  国家知识产权局信息显示,江苏翼泷芯科技有限公司申请一项名为“一种半导体生产设备及半导体工艺方法”的专利,公开号CN121693030A,申请日期为2025年12月。

  专利摘要显示,本发明涉及半导体生产技术领域,具体为一种半导体生产设备及半导体工艺方法包括洗台、支架和刷辊,清洗台上滑动设置有安装板,安装板与刷辊转动连接,安装板上位于刷辊一侧安装有喷射板和与喷射板配合使用的负压回收板,安装板上,喷射板、负压回收板及刷辊沿晶圆处理方向依次排布,包括,此半导体生产设备及半导体工艺方法,在使用时,在清洗流程前端设置非接触式气动预清洁单元,利用高压气流定向冲击晶圆表面,使大尺寸颗粒污染物在接触刷辊前即被剥离晶圆基体,减少了机械刷洗阶段颗粒与表面的摩擦风险;同步部署的负压回收板通过吸附机制实现剥离颗粒的移除,形成“冲击‑捕获”闭环,杜绝颗粒二次附着或逃逸导致的间接损伤。

  天眼查资料显示,江苏翼泷芯科技有限公司,成立于2023年,位于淮安市,是一家以从事化学原料和化学制品j6股份有限公司制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏翼泷芯科技有限公司财产线条,此外企业还拥有行政许可2个。

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