射频电源 RF Generator
j6国际提供的射频电源功率范围100W-5kW，频率覆盖13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz等标准频段，配备自动阻抗匹配系统，反射功率小于5%，
j6国际提供的射频电源功率范围100W-5kW，频率覆盖13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz等标准频段，配备自动阻抗匹配系统，反射功率小于5%，适配各类等离子体工艺设备，电气类核心产品之一
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