静电吸盘 ESC
j6国际自主研发的静电吸盘（ESC）采用多层陶瓷复合结构，吸附力均匀性95%，温度控制精度0.5℃，支持12英寸晶圆加工，已通过国内多家晶圆厂验证并实现批量供货
j6国际自主研发的静电吸盘（ESC）采用多层陶瓷复合结构，吸附力均匀性≥95%，温度控制精度±0.5℃，支持12英寸晶圆加工，已通过国内多家晶圆厂验证并实现批量供货，电气类产品占比13%。<
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